1000: オーバーフレッティングメッシュマシン

1000Z: 光学的および光学的な欠陥の測定

1302:横型複合加工機

1304/1306: 水平走査型光電変換装置

1310:Hochgeschwindigkeits-Inline-Messmaschine

1310S:光学式/光学式メッサー